起動テンプレートのインスタンスタイプを、同等の性能を持つ別のインスタンスタイプに変更して、再度起動する。
InsufficientInstanceCapacity は、リクエストを満たすだけのオンデマンドキャパシティが AWS 側に現在ないことを示すエラーです。公式の対処は、数分待って再試行する、台数を減らしてリクエストを分ける、AZ を指定せずにリクエストする、別のインスタンスタイプでリクエストする、の 4 つです。
インスタンスタイプを変えると、同じ AZ でも空きのあるキャパシティから起動できます。